晶圆厂防静电标准：从服装到地板的全链路防护方案
晶圆厂的生产环境对静电防护要求极高，哪怕微弱的静电放电都可能导致晶圆报废，造成巨大损失。全链路防护需覆盖从人员着装到地面设施的每个环节，美安服饰结合 SEMI 国际标准与行业实践，梳理出系统化的防静电方案。
人员防护：服装与配饰的协同标准
晶圆厂需采用 Class 100 级防静电服，面料发尘量≤100 个 /㎡（≥0.5μm 微粒），表面电阻控制在 10?-10?Ω，静电衰减时间≤0.1 秒。连体带帽设计配合无尘靴、导电手套，形成全封闭防护，袖口与手套重叠处需用导电胶条密封，避免电荷泄漏。此外，员工需佩戴防静电手环，与工作台接地装置连接，确保体表静电实时导出，手环电阻值需稳定在 1-35MΩ。
设备与工作台：静电消散的关键节点
生产设备外壳需通过接地线与大地连接，接地电阻≤4Ω；工作台面铺设防静电橡胶垫，表面电阻 10?-10?Ω，边缘需延伸至地面形成导电通路。晶圆存放盒采用导电塑料材质，与设备接触时需通过卡扣实现电气连接，防止取放过程中产生电位差。传送机械臂的表面需喷涂导电涂层，每季度检测涂层电阻，确保≤10?Ω。
地面与空间：全域静电控制
车间地面需铺设防静电 PVC 卷材，接缝处用导电胶密封，整体接地电阻≤100Ω，同时具备耐磨特性，耐受叉车频繁碾压。空间环境中，湿度需控制在 45%-55%，避免干燥导致静电积累；空气净化器需达到 Class 1000 洁净等级，减少粉尘携带静电的风险。墙面与天花板采用导电涂料，形成全域接地网络，消除静电死角。
美安服饰为晶圆厂提供从防静电服到配套手套的人员防护方案，产品通过 SEMI S20.20 认证。公司拥有 23 年行业经验，资质齐全，产品品质有保障，可配合全链路防护需求提供定制化产品，为晶圆生产的静电安全提供专业支持。
